簡介 Dimension5000掃描探針顯微鏡Dimension5000SPM具有對大樣品的自動成像能力，使之在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲設(shè)備的制造過程中廣泛使用，它能夠測量直徑達(dá)350mm的樣品上測量100多個區(qū)域。它具有原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡的配置，可以在三維尺寸上探測缺陷、測量表面粗糙度和其它特征，測量過程對樣品無損傷并且無需對樣品進行預(yù)處理和修飾。