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氣體混合設(shè)備，氣體混合儀，氣體配比器，
混氣特點：高精度控制多種氣體混合比例，實現(xiàn)不同氣體比要求，氣路通道：1～8路（根據(jù)客戶需求設(shè)計）。
產(chǎn)品特點
·最大工作壓力達(dá)3MPa
·氣體質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確控制，操作簡單
·BA級潔凈管道連接
·使用氣體種類多（可達(dá)30多種）
·最高工作溫度5～50℃。
·國際主流通用管道連接方式。密封更可靠,壽命更長
·閥門與介質(zhì)接觸部分的零件材料為不銹鋼、聚四氟乙烯。
·高精度控制多種氣體混合比例，實現(xiàn)不同氣體比要求
·安裝方便。
產(chǎn)品特性
·兩元氣體混和裝置，利用多臺高精度(MFC)氣體質(zhì)量流量控制器精密控制氣體混合比例，可以混出不同要求的氣體比
·氣體混和精度不受起源壓力變化的影響
·全耐腐蝕設(shè)計，適應(yīng)氣體混合（常溫?zé)o凝結(jié)）
·調(diào)節(jié)精度優(yōu)于+-1%，混和精度優(yōu)于1%或2%（流量大小確定）
性能參數(shù)
氣體傳輸：1- 8種氣體氣體質(zhì)量流量控制器控制流量 ， Swagelok卡套連接
氣體類型： 空氣、N2， O2 ，CO2,SO2等
進氣壓力：2 --8bar
出口氣體：1--8種氣體質(zhì)量流量控制器控制
控制閥動作型式：氣體質(zhì)量流量控制器是常閉式
響應(yīng)時間(sec)：1S
工作壓差：0.05～0.5MPA
最大耐壓：3MPA
出口壓力：0 --6bar
控制原理：氣體質(zhì)量流量控制器控制，單獨控制每個出口，含溫度及濕度休整補償（由于密度和溫度的關(guān)系很大，為 減少誤差補償）
氣體質(zhì)量流量控制器流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM;0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30，200SLM
采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在5SCCM到200SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響其他流速可選擇 ，其他氣體可選擇
準(zhǔn)確性： 優(yōu)于1%或2%（此參數(shù)是由混合氣體的流量后所確定）
數(shù)據(jù)：輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量（ 1個大氣壓，0度）
氣體質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強………………101325Pa控制顯示方式：本地顯示控制
氣體混氣儀器應(yīng)滿足以下工作環(huán)境要求
工作電源: AC 185~265V,50Hz.
工作溫度:0～45℃
相對濕度:≤90%
進出口連接：
可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）與氣源進行快速連接，并與采樣灌進行快速連接
微小流量氣體混合儀，氣體混合儀，氣體配比
特點：微小流量氣體混合，高精度控制多種氣體混合比例，實現(xiàn)不同氣體比要求，氣路通道：1～8路（根據(jù)客戶需求設(shè)計）。
準(zhǔn)備過程
1. 按圖紙聯(lián)接管路系統(tǒng)。
2. 按順序聯(lián)接質(zhì)量流量控制器同顯示儀的數(shù)據(jù)線，聯(lián)接顯示儀電源。
3. 打開顯示儀電源（給質(zhì)量流量控制器通電5-10分鐘）。
4. 打開氣源，入口壓力（0.1-0.4MPA）之間。
5. 打開管道上的開關(guān)閥(路：MV1-1,MV1-3 第二路：MV2-1,MV2-3)。
6. 關(guān)閉(路：MV1-2第二路：MV2-2).
7. 在流量顯示儀1，2，3通道調(diào)節(jié)流量大小，通道3流量設(shè)定為最大（些通道可以調(diào)節(jié)出口的流量大小，如果不是最大流量，通道1，2氣體流不出）?；旌喜煌臍怏w分別調(diào)節(jié)1,2通道流量大小。
通道1流量為：1000SCCM，通道2流量為：100SCCM，通道3流量為1500SCCM.
注：路：MV1-2第二路：MV2-2，主要功能為清潔管路和不使用混氣功能時可對下游氣體不控制流量。
特點性能
·質(zhì)量流量控制器最大工作壓力20MPa。（詳見產(chǎn)品說明書）
·最高工作溫度5-50℃。
·國際主流通用管連接方式。
·316不銹鋼材質(zhì)。
·閥門與介質(zhì)接觸部分的零件材料為不銹鋼、聚四氟乙烯。
·安裝方便。
氣體混合儀系統(tǒng)參數(shù)
氣體傳輸：8種氣體 ， Swagelok卡套連接
氣體類型：NH3，CH4等
進氣壓力：0.1-0.4MPA
控制閥動作型式：常閉式
響應(yīng)時間(sec)：1S
工作壓差：0.05～0.5MPA
最大耐壓：3MPA
控制原理：質(zhì)量流量控制，每個出口單獨控制
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