107J測(cè)量顯微鏡,采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作緊密測(cè)量。特別適用于錄像磁頭,大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它緊密零件的測(cè)試。廣泛地適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)以及科學(xué)研究等部門(mén)。
本儀器為光柵數(shù)顯的小型精密測(cè)量?jī)x器。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測(cè)量;采用雙筒目鏡觀(guān)察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可作斜光線(xiàn)照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD 電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。是一種優(yōu)質(zhì)的多用途的小型精密測(cè)量?jī)x器。
型號(hào) |
107JⅠ |
107JⅡ |
107JⅢ |
鏡筒
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粗動(dòng) |
調(diào)節(jié)范圍90mm |
微動(dòng) |
調(diào)節(jié)范圍2mm |
高(Z)測(cè)量 |
1mm最小讀數(shù)0.001mm(比較測(cè)量) |
鏡筒 |
雙目鏡筒俯角45° |
工作臺(tái)
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左右(X)軸 |
移動(dòng)范圍25mm |
移動(dòng)范圍50mm |
移動(dòng)范圍50mm |
前后(Y)軸 |
移動(dòng)范圍25mm |
移動(dòng)范圍25mm |
移動(dòng)范圍50mm |
分辨率 |
1微米 |
旋轉(zhuǎn) |
360° |
照明系統(tǒng)
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光源 |
透射照明 |
8V-12W藍(lán)、綠色濾光片 |
反射照明 |
8V-12W磨砂燈泡、綠色濾光片 |
斜照明 |
8V-12W |
電源 |
AC220V±10%50/60HZ |
光學(xué)系統(tǒng)
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目鏡 |
BWF10X |
物鏡
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4X 工作距離17.5 焦距28.8 |
10X 工作距離11.6 焦距15.4 |
40X 工作距離0.66 焦距4.4 |
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