校正球：校正球微精細研加工成的玻璃球。精度為<0.05μm，用于校驗轉臺徑向精度。

精密轉臺：轉臺直徑為200mm，承載工件的最大重量10kg。轉臺下端裝有精密轉軸，其轉速為2.5轉/分。轉臺上相隔90°的二個調節(jié)鈕，可調節(jié)臺面傾斜。調節(jié)范圍±2圈（40′）。

立柱：立柱上裝有滑座，旋動升降鈕可使滑座沿立柱作升降移動并可用鎖緊手柄鎖緊。立柱上標有位移高度指示。全程位移270mm。

傳感器：傳感器是旁測式電感傳感器?？纱怪被蛩桨惭b。測桿可在測量面內容易地轉位到某一位置，裝上限位裝置可測斷續(xù)表面。

記錄器：被測工件的輪廓和相應得參考圓記錄在直徑為Ø150mm的火花記錄紙上。圓形記錄寬度為40mm。記錄紙的紙動和主軸同步。

微型計算機：這是一臺通用微型計算機并配有EPSON打印機。操作者只要根據(jù)需要，選擇相應得菜單進行測量或分析可分別獲同時選擇最小區(qū)域、最小二乘、最小外接、最大內切四種方法進行評定。測量結果有圓度P+V、圓心偏心量X、Y。軟件系統(tǒng)還附有頻譜分析、定標等功能。

電子部件：面板上有8個指示燈，顯示100至20000八檔相應的放大倍率。有一個記錄本本移調節(jié)鈕。濾波器鈕可選擇濾波特性。這些濾波特性被大多數(shù)國家認證定為國家標準。